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随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400～450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。在真空热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使Si-O-Si网络结构以及链式结构发生交联而形成鼠笼结构,从而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。
4、较好的耐腐蚀性
耐磨复合钢板的合金层中含有高百分比的金属铬，故具有一定防锈和耐腐蚀能力。用于落煤筒和漏斗等场合可以做到防止粘煤。
5、适用性强
耐磨复合钢板规格全，品种多，已成商品系列化。耐磨合金层的厚度在3～20mm。复合钢板的厚度薄为6mm，厚度不限。目前，标准耐磨复合钢板可提供1200或1500×2000mm，也可根据用户需求，按图纸尺寸定做加工。耐磨复合钢板现分为普通型、耐冲击型和高温型三种，定购高温耐磨和耐冲击型复合钢板要说明。
6、方便的加工性能
耐磨复合钢板可以经过切割，打孔，卷板弯曲和焊接等工艺过程，制成各种形状的平板，弧板，锥板，圆筒等。切割好的复合板可以拼焊成各种工程结构件或零部件。也可以用螺栓或焊接固定在设备上，更换维修方便。
复合耐磨板合金耐磨层主要以铬合金为主，同时还添加锰、钼、铌、镍等其它合金成份，金相组织中碳化物呈纤维状分布，纤维方向与表面垂直。碳化物显硬度可以达到HV1700-2000以上，表面硬度可达到HRC58-62。合金碳化物在高温下有很强的稳定性，保持较高的硬度，同时还具有很好的抗氧化性能，在500℃以内完全正常使用。
复合耐磨板具有很高耐磨性能和较好冲击性能好，能够进行切割、弯曲、焊接等，可采取焊接、塞焊、螺栓连接等方式与其他结构进行连接，在维修现场过程中具有省时、方便等特点，广泛应用于冶金、煤炭、水泥、电力、玻璃、矿山、建材、砖瓦、港口等行业，与其他材料相比，有很高的性价比，已经受到越来越多行业和厂家的青睐。
在选购家用复合耐磨板的时候，消费者应该关注地板的耐磨转数、吸水后的膨胀率和甲醛含量等关键参数。例如，在耐磨转数方面，磨转数越高地板使用 的时间应该越长，但耐磨值的高低并不是决定地板质量的 标准。专家提醒消费者，只有深知家用复合地板的各项指标，才能更好的产品融入到家庭里，才能营造 出更完美的装修效果。
